[發(fā)布日期：2020-01-03 09:38:17] 點擊：
IGBT-封膠除氣泡解決方案
電的發(fā)現(xiàn)是人類歷史的革命，由它產(chǎn)生的動能每天都在源源不斷的釋放，人對電的需求不亞于人類世界的氧氣，如果沒有電，人類的文明還會在黑暗中探索。
然而在電力電子里面，重要的一個元件就是IGBT。沒有IGBT就不會有高鐵的便捷生活。
一說起IGBT，半導體制造的人都以為不就是一個分立器件(Power Disceret)嘛，都很瞧不上眼。然而他和28nm/16nm集成電路制造一樣，是國家「02專項」的重點扶持項目，這玩意是現(xiàn)在目前功率電子器件里技術最先進的產(chǎn)品，已經(jīng)全面取代了傳統(tǒng)的Power MOSFET，其應用非常廣泛，小到家電、大到飛機、艦船、交通、電網(wǎng)等戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，被稱為電力電子行業(yè)里的「CPU」，長期以來，該產(chǎn)品(包括晶片)還是被壟斷在少數(shù)IDM手上(FairChild、Infineon、TOSHIBA)，位居「十二五」期間國家16個重大技術突破專項中的第二位(簡稱 「02專項」)。
IGBT的制程
IGBT模塊在制程中採用了一體化基板和樹脂直接灌封的SLC技術，并優(yōu)化了一體化基板中的絕緣材料和灌封的樹脂材料，將其熱膨脹係數(shù)優(yōu)化為和銅一致，以避免溫度變化時所產(chǎn)生的應力。從而，模塊的熱循環(huán)壽命和功率循環(huán)壽命得到極大的提升。相比舊世代IGBT模塊，新一代模塊的熱循環(huán)壽命提升7倍以上(殼溫變化80℃時的測試結(jié)果)。
挑戰(zhàn)
上述在樹脂灌封的技術中常會遇到灌住后所產(chǎn)生的氣泡問題, 此問題將大大影響產(chǎn)品的良率.
因此, 如何做到有效的除泡烘烤成了這項工藝的最大瓶頸……
解決方案
ELT科技提供了一套完整的除氣泡解決方案, 配合許多材料商的共同合作經(jīng)驗, 我們成功的將
真空壓力除泡系統(tǒng)導入到此標準生產(chǎn)流程.
除氣泡前 除氣泡后
